Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. Vol. 1: Microlithography

Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. Vol. 1: Microlithography

Natura: Monografia - Materiale testuale - Materiale a stampa
Descrizione: Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. Vol. 1: Microlithography / Rai-Choudhury. - SPIE Press, 1997. - VIII+768
Collezione: [Fa parte di] SPIE press monograph ; 39 [Vai al dettaglio]
Numeri: ISBN: 0-8194-2378-5
Autore:
Rai-Choudhury, P.
Lingua: Inglese
ID scheda: 82599
Localizzazioni
BibliotecaInventarioSezioneUbicazioneCollocazioneNoteStatoPrenotazioni
OAMIPREG OAMM6335Merate14/2BDisponibileNessunaPrenota