Plasma sources for thin film deposition and etching
Academic Press, 1994
| Campo | Valore |
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| Descrizione | Plasma sources for thin film deposition and etching / Francombe M.H., Vossen J.L. - Academic Press, 1994. - XII+328 |
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| ID scheda | 82456 |
| Permalink | https://www.opac.inaf.it/?ids=82456 |
| Biblioteca | Inv. | Sez. | Collocazione | Prestabilità | Stato | Prenotazioni |
|---|---|---|---|---|---|---|
| OAMI | PREG OAMM6192 | Merate | 12/2A | Ammesso al prestito | A scaffale | Nessuna |